電感耦合等離子體質譜儀是一種廣泛應用于地球科學、環境科學、生命科學和材料科學等領域的分析儀器。它結合了電感耦合等離子體源（ICP）和高靈敏度的質譜檢測器，能夠同時測定多種元素的含量和同位素組成。具有許多優點，如高的檢測限、高的選擇性、準確性和可靠性。此外，它還可以同時測定多個元素和同位素，其檢測范圍從質量數1到300不等。因此，已成為許多應用領域關鍵的分析工具，例如研究地球元素分布、環境污染、生命科學和材料科學等。
工作原理是將待測樣品轉化為氣態離子，然后經過選擇性分離和檢測。首先，樣品通過噴霧裝置進入ICP源，其中包含高溫和穩定的等離子體，使樣品中的原子被激發和電離。接著，離子在通過四極桿或磁場篩選器進行分離和聚焦，最終到達質譜檢測器進行檢測。
1、清潔：定期清潔ICP-MS的外部表面，避免灰塵和雜質進入儀器。同時，定期清潔采樣系統、噴霧器等部件，避免樣品殘留影響分析結果。
2、校準：定期校準ICP-MS，以確保準確的質譜分析結果。校準頻率應根據使用情況和儀器要求而定。
3、檢查氣體和冷卻系統：定期檢查氬氣等離子體氣體、冷卻水等系統，確保氣體流量和溫度穩定，以保證等離子體的穩定性。
4、檢查離子透鏡和倍增器：定期檢查離子透鏡和倍增器，確保其清潔并正常工作。清潔透鏡表面以避免離子傳輸的阻礙。
5、更換消耗品：定期更換ICP-MS中的消耗品，如離子透鏡、噴嘴、采樣管等，以確保儀器的正常運行。
6、定期維護：定期進行維護工作，包括清潔光學部件、檢查電子元件、校準儀器等，以確保儀器長期穩定運行。
7、環境控制：保持ICP-MS工作環境的穩定，包括溫度、濕度和潔凈度等方面，以減少外部因素對儀器性能的影響。
