電感耦合等離子體質譜儀（簡稱）是一種廣泛應用于地球科學、環境科學、生命科學和材料科學等領域的分析儀器。它結合了電感耦合等離子體源（ICP）和高靈敏度的質譜檢測器，能夠同時測定多種元素的含量和同位素組成。具有許多優點，如高的檢測限、高的選擇性、準確性和可靠性。此外，它還可以同時測定多個元素和同位素，其檢測范圍從質量數1到300不等。因此，已成為許多應用領域關鍵的分析工具，例如研究地球元素分布、環境污染、生命科學和材料科學等。
工作原理是將待測樣品轉化為氣態離子，然后經過選擇性分離和檢測。首先，樣品通過噴霧裝置進入ICP源，其中包含高溫和穩定的等離子體，使樣品中的原子被激發和電離。接著，離子在通過四極桿或磁場篩選器進行分離和聚焦，最終到達質譜檢測器進行檢測。
電感耦合等離子體質譜儀具有以下主要特點：
1、高靈敏度：具有高的靈敏度，能夠檢測到非常低濃度的元素。它可以達到亞部分億甚至更低的濃度檢測限，適用于微量元素分析和超微量元素分析。
2、寬線性范圍：具有廣泛的線性范圍，能夠同時測量低濃度和高濃度樣品。它可以準確測量從痕量到高濃度的元素含量，適用于各種樣品類型和濃度范圍。
3、多元素分析：能夠同時測量多種元素的含量，包括金屬元素、非金屬元素和稀土元素等。它可以在同一樣品中同時測量多個元素，提高分析效率和樣品利用率。
4、同位素分析：還具有同位素分析的能力，可以測量元素的同位素組成和同位素比值。它廣泛應用于地球科學、環境科學、生命科學等領域的同位素地球化學和生物地球化學研究。
5、快速分析速度：具有快速的分析速度，能夠在短時間內完成大量樣品的分析。它適用于高通量分析和快速樣品檢測，提高實驗室的分析效率。
6、高分辨率：可以提供高分辨率的質譜圖像，能夠分辨出同一元素的不同同位素和同位素峰。這對于同位素分析和元素分析的準確性和精確性非常重要。
7、低干擾：具有良好的干擾抑制能力，可以有效地抑制來自基體干擾和同位素干擾的影響。它能夠提供準確的元素測量結果，減少干擾對分析結果的影響。
8、數據處理和報告生成：通常配備數據處理軟件，可以對測量結果進行處理、分析和解釋。用戶可以生成測試報告、元素分布圖和同位素比值圖等，以便更好地理解樣品的元素組成和同位素特征。
9、適用于多種樣品類型：適用于多種樣品類型的分析，包括液體樣品、固體樣品和氣體樣品等。它可以對不同形態的元素進行分析，滿足不同領域和應用的需求。
10、自動化和高度集成：現代的系統通常具有自動化功能和高度集成的設計，能夠實現樣品的自動進樣、數據采集和分析過程的自動化控制。這提高了實驗室的工作效率和數據的可靠性。
